Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:535
Номер:5 (123)
ВЫБОР ИСХОДНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ СХЕМЫ МЕТОДА ГРУППОВОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ ОБЪЕКТИВОВ
Аннотация:
Целью настоящей работы является разработка метода получения исходных оптических схем для литографических объективов ультрафиолетового (UV) и глубокого ультрафиолетового диапазонов (DUV) на основе алгоритма глобального поиска. Исследованы возможности алгоритма глобального поиска для получения локальных минимумов в пространстве оценочной функции проектирования литографических объективов. Среди основных задач представленной работы — определение закономерностей для параметрических и входных данных макроса, связанных с количеством линз, длиной объектива и материалом оптических стекол. Полученные результаты демонстрируют эффективность и основные достоинства метода, основанного на алгоритме глобального поиска. Результатом работы является разработанный метод и критерии успешного выбора исходных оптических схем для микролитографических объективов.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЕ ТЕРАГЕРЦОВЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК
- ПОСТРОЕНИЕ ТРЕХМЕРНОГО ОБРАЗА ИСКУССТВЕННОГО КОСМИЧЕСКОГО ОБЪЕКТА МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОЙ ЛОКАЦИИ
- КЛАССИФИКАЦИЯ ГИДРООБЪЕКТИВОВ И МЕТОД ИХ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
- ОБНАРУЖЕНИЕ УЛЬТРАЗВУКОВЫХ ВОЗДЕЙСТВИЙ С ПРИМЕНЕНИЕМ ВОЛОКОННЫХ РЕШЕТОК БРЭГГА
- АНАЛИЗ ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОВОРОТА БАЗОВОГО БЛОКА ПРОГИБОМЕРА
- ВЛИЯНИЕ ФОРМЫ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ ОБЪЕКТА НА ГЛУБИНУ РЕЗКОСТИ ВОССТАНОВЛЕННЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ФРЕНЕЛЯ
- РАЗРАБОТКА МЕТОДА ГЕОМЕТРИЧЕСКОГО СИНТЕЗА И ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ ОПТИМИЗАЦИИ МЕХАНИЗМА НОГИ ГАЛОПИРУЮЩЕГО РОБОТА
- ИЗУЧЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОНКОДИСПЕРСНЫХ УГОЛЬНЫХ ШЛАМОВ НА ИХ ФЛОТИРУЕМОСТЬ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ИЗМЕНЕНИЯ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ ЛЕЙКОСАПФИРА ПУЧКОМ ИОНОВ АРГОНА ПОД МАЛЫМ УГЛОМ ПАДЕНИЯ К ПОВЕРХНОСТИ
- АЛГОРИТМЫ НОВЫХ МЕТОДОВ ОЦЕНКИ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ МАТЕРИАЛОВ
- КИНЕТИЧЕСКИЙ ПОДХОД ПОСТРОЕНИЯ МОДЕЛИ ПЛАЗМЕННЫХ ПРОЦЕССОВ СИНТЕЗА УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТРУКТУР
- УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЧЕРНЕНИЯ МОЛИБДЕНА
- РАЗРЕШЕНИЕ ВРЕМЕННОЙ НЕПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ ДОППЛЕРОВСКИХ ЭХОКАРДИОГРАФИЧЕСКИХ ДАННЫХ С ПОМОЩЬЮ АЛГОРИТМА МАСКИРОВАНИЯ
- МЕТОД ОБЕСПЕЧЕНИЯ БЕЗОПАСНОЙ ОБРАБОТКИ ПЕРСОНАЛЬНЫХ ДАННЫХ НА ОСНОВЕ ПРИМЕНЕНИЯ ТЕХНОЛОГИИ БЛОКЧЕЙН
- ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ ПОРТАЛА ДИСТАНЦИОННОЙ НЕЙРОРЕАБИЛИТАЦИИ
- СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ МАСШТАБИРУЕМЫМ ГЕОГРАФИЧЕСКИ РАСПРЕДЕЛЕННЫМ ЦЕНТРОМ ОБРАБОТКИ ДАННЫХ
- СПОСОБЫ ПОВЫШЕНИЯ ВИБРОУСТОЙЧИВОСТИ КВАРЦЕВОГО МАЯТНИКОВОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ ЦИФРОВОГО УСИЛИТЕЛЯ ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
- ПЛАТФОРМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ И МОДУЛЬНЫЙ ПРИНЦИП ПРОЕКТИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ КАК МЕТОД СТАНДАРТИЗАЦИИ И УНИФИКАЦИИ РАЗРАБОТОК
- ОБЩЕЕ В ПОДХОДЕ К ИМИТАЦИОННОМУ МОДЕЛИРОВАНИЮ ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫХ И ТРАНСПОРТНЫХ СЕТЕЙ
- АНАЛИТИЧЕСКОЕ СРАВНЕНИЕ РАДИУСА ПОКРЫТИЯ БАЗОВЫХ СТАНЦИЙ ДЛЯ РАЗНЫХ МЕТОДОВ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЧАСТОТНЫХ СИГНАЛОВ
- ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МЕХАНИКИ ДЕФОРМИРУЕМОГО ТВЕРДОГО ТЕЛА
- ВИЗУАЛИЗАЦИЯ СТРУКТУРЫ СЛОЕВ ПЕРЛАМУТРА МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ КОГЕРЕНТНОЙ МИКРОСКОПИИ
- АКУСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ДЛЯ СИНТЕЗА КАЗАХСКОЙ РЕЧИ
- АЛГОРИТМЫ ФОРМИРОВАНИЯ ЦВЕТНЫХ QR-КОДОВ ДЛЯ ЗАДАЧ БИОМЕТРИИ